满足越来越严苛的电子气体质量发展要求从源头提升半导体生产工艺
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满足越来越严苛的电子气体质量发展要求从源头提升半导体生产工艺

2024-06-09 技术资讯

  从去年开始“缺芯”一直困扰着众多工业行业的发展,尤其是汽车行业受到的干扰更为突出。全球芯片代工厂都在满产运转,各大半导体供应商无不开足马力提升产量,扩展产能,提高未来市场话语权。而在半导体众多工艺过程中,集成电路、液晶面板、

  及光伏等材料的电子气体所扮演的角色也越发不可以忽视。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

  随着电子消费品的升级换代,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的最低检测极限(

  在实际生产的全部过程中,半导体厂商发现随着工厂生产的基本工艺的提升,由于对大宗气体检验测试手段的落后,已经没办法提供更高杂质检出限(PPT级)的检测结果,导致产品良品率持续降低:虽然气体杂质检测结果正常,但是生产质量却频频出现一些明显的异常问题。对于来自最终用户对于大宗气体质量的指责,气体供应商也认为有必要在大宗气体出厂之前就能完成质量控制监测,尽早减少生产波动、设备故障带来产品质量上的问题,确保质量稳定,消除与用户的争议。

  年,在中国的总部设于上海,并在北京、广州、香港、成都、沈阳、西安、南京、武汉、昆明等地设立了分公司,员工数约为5000

  为了满足中国市场的需求,现有7家工厂分别在上海、北京、苏州和广州等地运营。我们在全国还设立了8


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