电子束量检测是半导体量检验测试领域的主要技术类型之一，在半导体制程不断微缩，电子束量检测发挥着逐渐重要的作用。东方晶源已先后成功推出多款电子束量检测设备，占据电子束量测检测三大主要细分领域。

  电子束量检测是半导体量检验测试领域的主要技术类型之一，在半导体制程不断微缩，光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下，发挥着逐渐重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高，其研发和设计很具有技术挑战性。

  作为布局该领域最早的国内企业之一，东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检验测试设备EBI，关键尺寸量测设备CD-SEM（12英寸和6&8英寸），电子束缺陷复检设备DR-SEM，占据电子束量测检测三大主要细致划分领域，产品多样化和产品成熟度走在前列。同时，经过持续的迭代研发，三大产品线全力升级、性能指标逐步提升，引领国内电子束量测检测产业高速发展。

  东方晶源早在2019年就成功研发并推出的SEpA-i505是国内首台电子束缺陷检验测试设备，可提供完整的纳米级缺陷检验测试和分析解决方案，在2021年便进入28nm产线全自动量产。经过数年研发迭代，新一代机型SEpA-i525在检验测试能力和应用场景方面得到进一步拓展。

  在应用场景方面，东方晶源的EBI设备也从逻辑Fab领域延伸至存储Fab，可以为客户解决更多的制程缺陷问

  此外，东方晶源EBI设备基于DNA缺陷检验测试引擎，采用图前台与运算后台低耦合，支持同步online/offline inspection。集成多种先进缺陷检验测试算法（D2D、C2C等），能够完全满足用户不同应用需求，有效提升Capture Rate，降低Nuisance Rate。采用的自动缺陷分类（ADC）引擎，其Model-Based ADC模块基于深度学习、自动特征选取、融合置信度的聚类算法，可以有效提升自动缺陷分类的Purity和Accuracy；Rule-Based ADC模块则保留了人工经验的灵活性，在小样本的场景下能够迅速创建。CD-SEM：面向6/8/12英寸产线全面布局

  CD-SEM（关键尺寸量测设备）主要是通过对于关键尺寸的采样测量，实现对IC制作的完整过程中，光刻工艺后所形成图形尺寸进行监控，以确保良率。东方晶源的CD-SEM分为12英寸和6&8英寸兼容两个产品系列，均已进入用户产线，可支持Line/Space、Hole/Elliptic、LER/LWR等多种量测场景，满足多种成像需求。

  12英寸CD-SEM新一代机型SEpA-c430经过2年的迭代，在量测性能和速度上实现全方面提升，目前也在多个客户现场完成验证。

  ；新推出的晶圆表面电荷补偿功能，能大大的提升光刻胶量测的能力。新机型还增加了自动校准功能，可确保较高的量测一致性，为产品的大规模量产做好了准备。

  除12英寸产品外，东方晶源6&8英寸CD-SEM产品相较国际大厂新设备的交期长、价格高具有更高的性价优势。面向第三代半导体市场推出的SEpA-c310s，不仅实现了6&8 英寸兼容，同时还可兼容不一样的材质的晶圆（例如GaN/SiC/GaAs），兼容不同厚度的晶圆（例如350um，1100um）。该产品已在多个头部客户实现了量产验证。值得一提的是，2022年底东方晶源ODAS LAMP产品已正式对外发布。ODAS LAMP全称为Offline Data Analysis System, Large Scale Automatic Measurement Purpose产品，中文名称为大规模CD量测离线数据处理系统。

  ODAS LAMP作为CD-SEM量测设备的配套工具，目的是方便CD-SEM用户利用设计版图离线创建和修改CD-SEM recipe，并提供对CD-SEM量测结果的review功能，也可以在CD-SEM图像上进行离线再量测，提升机台利用率。

  2023年东方晶源推出首款SEpA-r600，目前已经出机到几个头部客户进行产线验证。

  在辅助光学系统复检OM的研发方案选择中，东方晶源独立开发出一套全新光学窗口成像系统。借助于这套系统，目前已完成对unpatterned wafer的光学复检功能的开发，实现了auto bare wafer review的功能，实现用户对70nm左右defect的复检需求。也就是说，

  另外，DR-SEM的高电压电子枪能够很好的满足客户对浅层缺陷的分析，同时对较深的孔底部也能够有明显的信号。根据针对客户的真实需求深度拆解，这款DR-SEM设备还引入了全彩OM，能实现色差调整，以满足多种film内部color defect的检测，为客户提供更多的表征手段。未来，东方晶源新一代DR-SEM设备将结合下一代自研EOS，搭配深紫外DUV辅助光学检测系统，预期可满足更先进制程全流程的defect复检需求。

  从2021年6月EBI设备通过产线验证进入全自动量产以来，东方晶源加快研发步伐，先后又成功推出12英寸CD-SEM、6&8英寸兼容CD-SEM、DR-SEM多款产品，并持续通过迭代升级提升设备性能和效率，解决了国产半导体发展中的关键难题，领跑国内相关领域发展。未来，东方晶源将围绕集成电路良率管理继续深耕，为产业带来更多的硬件和软件产品，推动行业发展和进步。